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武漢松野擴(kuò)散硅壓力變送器的核心在于擴(kuò)散硅壓力傳感器,其利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)開展工作。當(dāng)半導(dǎo)體材料受到壓力作用時(shí),電阻率會(huì)隨之改變。具體而言,在單晶硅基片上,通過擴(kuò)散工藝形成四個(gè)等值的薄膜電阻,構(gòu)成惠斯通電橋。被測(cè)壓力作用于傳感器時(shí),電橋電阻值發(fā)生變化,打破電橋平衡,產(chǎn)生與壓力成正比的電壓信號(hào)。此微弱電壓信號(hào)經(jīng)變送器內(nèi)部的信號(hào)調(diào)理電路(涵蓋放大、濾波、溫度補(bǔ)償?shù)拳h(huán)節(jié))放大和處理后,最終轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的電流信號(hào)(如 4 - 20mA)或電壓信號(hào)輸出。
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